OA系统中国科学院
 
首页信息公开
  综合新闻  
  图片新闻  
  科研动态  
  学术活动  
  媒体报道  
您现在的位置:首页 > 新闻动态 > 科研动态
研究人员设计出新型声表面波温度传感器件
2020/08/17 | 作者:超声技术中心 李学玲 | 【 【打印】【关闭】

  高温环境引起的热辐射损耗会导致传感器器件具有较大的声波衰减,申博ab亚洲馆娱乐管理网:因此在这种环境下工作的传感器应具有足够大的品质因数(Q)且损耗较低。传统的有线有源传感器不能用于高温环境下的温度测量,而基于声表面波(surface acoustic waveSAW)的无线无源温度传感器为此提供了一种良好的解决方案。

  中科院声学所超声技术中心的博士生李学玲及其导师王文等人采用短脉冲法提取精确的反射系数并用典型的耦合模 (coupling of modesCOM)模型对LGS/Pt结构声表面波温度传感器件进行优化设计,仿真和试验证明该器件具有良好的高温传感性能。

  相关研究成果20204月在线发表于国际学术期刊 Sensors

  研究人员基于不同Pt膜厚与波长比的LGS/Pt器件的结构开展实验研究。采用最小二乘法对实验数据进行拟合,得出反射系数计算公式,利用有限元方法提取Pt/LGS的其它COM参数,通过典型的COM模型对Pt/LGS结构的单端口谐振器进行模拟,并确定了具有较大Q值的最佳设计参数。

  研究人员利用光刻技术研制了一个400MHz单端口声表面波谐振器,用网络分析仪对其测量得到较高的Q值,测量结果与模拟结果吻合良好。在50650℃的温度范围里,测试了所制备的传感器件的高温特性,测试结果显示其具有良好的稳定性和线性TCF( ~25 ppm/°C.),证明该器件具有较好的高温传感性能。

  研究结果表明,声表面波高温传感技术可用于极端高温环境下的高灵敏度温度监测和预警。

  本研究得到国家自然科学基金联合重点基金项目(No.U1837209)等资助。

  

  

  图1 用于提取反射系数的声表面波装置的结构(上)和反射系数测量实验装置(下)(图/中科院声学所)

  

  图2 反射系数测量与高温传感器响应(图/中科院声学所)

  关键词:

  声表面波;Pt/LGS;短脉冲方法;高温传感器;COM模型

  参考文献:

  LI Xueling, WANG Wen, FAN Shuyao, YIN Yining, JIA Yana, LANG Yong, LIU Mengwei. Optimization of SAW devices with LGS/Pt structure for sensing temperature. Sensors 2020, 19(2), 310. DOI: 10.3390/s20092441.

  论文链接:

  http://www.297tyc.com/430/10.3390/s20092441

 
  相关新闻
极速时时彩走势图 Copyright 1996 - 中国科学院声学所 版权所有 备案序号:官方申博娱乐城下载 京公网安备110402500001号
地址:北京市海淀区北四环西路21号中国科学院声学研究所  邮编:100190
E-mail:ioa@mail.ioa.19.297tyc.com
万豪会赌场注册 澳门上葡京娱乐开户 极速时时彩走势图 海天游戏总公司 申博VIP3贵宾
威尼斯人娱乐在线投注 鸿利游戏全新代理模式 99彩票平台登录 凯时指定网 申博太阳城现金官方网站
优游游戏总公司 葡京直营官网 必赢MG电子女优 tb通宝在线官网 新宁波棋牌
杏彩评测 一号庄1级会员 申博网投网址 澳门云盈游戏怎么赢钱 澳门美狮美高梅官网